等静压石墨坩埚
等静压石墨坩埚的规划验证与优化
热应力模仿：通过FEA分析高温下结构变形与应力分布，优化壁厚与形状。
实验测验：连续高温运转测验（如30天变形量<0.1mm），验证长期稳定性。
安装精度操控：热场组件安装间隙需操控在±0.05mm以内，等静压石墨可实现微米级加工精度（外表粗糙度Ra<0.8μm）。
等静压石墨坩埚的规划验证与优化
热应力模仿：通过FEA分析高温下结构变形与应力分布，优化壁厚与形状。
实验测验：连续高温运转测验（如30天变形量<0.1mm），验证长期稳定性。
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