等静压石墨坩埚的典型应用案例

等静压石墨坩埚的典型使用事例

半导体单晶炉坩埚

规划要求：尺寸大（直径可达18英寸）、纯度高（>99.9995%）、耐高温（>2500℃）。

结构特色：广口规划，壁厚均匀，选用高纯等静压石墨，外表镀SiC涂层以减少碳污染。

熔铜石墨坩埚

规划要求：导热性好、强度高、耐急冷急热。

结构特色：冷等静压成型（压强600MPa），壁厚较薄（<10mm），内部安排均匀无缺点。