石墨舟的清洗、维护与故障处理指南

一、新舟的首次处理：打好基础

1. 酸洗活化：用去离子水搭配 10% 体积比的氢氟酸，浸泡 3-5 小时，去除加工过程中残留的杂质和表面的浮尘。
2. 纯水漂洗：酸洗之后，用去离子水漂洗 8-12 小时，直到水的 pH 值变成中性，确保没有酸残留。
3. 烘干处理：把漂洗好的石墨舟，放入 100-120℃的烘箱，烘干 10-12 小时，彻底去除水分，因为石墨的孔隙很容易吸水，如果带水进入高温炉，会导致舟开裂。
4. 饱和预处理：第一次进炉之前，要装上假片或者废片，进行 200-240 分钟的饱和处理，让石墨舟提前吸附工艺气体，避免第一次使用的时候，舟吸收反应气体，导致镀膜不均匀。

二、使用后的定期清洗：去除残留

1. 拆舟：把石墨舟拆开，把石墨片、陶瓷定位件分开，因为氢氟酸会腐蚀陶瓷部件，整体清洗会缩短陶瓷件的寿命。
2. 酸洗浸泡：配置 15-25% 浓度的氢氟酸溶液，分三轮浸泡石墨片，每轮 4-5 小时，浸泡的时候，要打开氮气鼓泡，通过气泡的搅动，让酸液和残留物充分反应，注意不能用空气鼓泡，空气里的氧气会污染石墨。
3. 纯水漂洗：酸洗之后，把石墨片放入纯水中，漂洗 10 小时左右，同样用氮气鼓泡，直到水的 pH 值中性，同时检查表面，有没有残留的氮化硅。
4. 烘干：和新舟一样，风淋吹干表面的水滴，然后放入烘箱，100-120℃烘干 10-12 小时，确保彻底干燥。

三、日常维护：细节决定寿命

1. 搬运与存放：石墨是脆性材料，搬运的时候要用专用的吊架，四点均匀受力，不能单手拎，也不能堆叠存放，堆叠会导致底部的舟受力变形。存放的环境要干燥清洁，因为石墨有吸附性，潮湿或者污染的环境，会让舟再次吸附杂质。
2. 装片操作：装片的时候，要使用专用的工装，硅胶垫、尼龙导向槽，放置硅片的力不能超过 5N，不能用力按压，否则会把卡槽压坏，也会导致硅片碎片。
3. 卡点更换：石墨舟的工艺卡点，也就是用来固定硅片的小部件，是磨损最快的，要定期更换，一般每清洗 3-5 次，就要检查一次卡点的磨损情况，及时更换，避免因为卡点磨损，导致硅片倾斜，产生色差片。
4. 编号管理：给每一个石墨舟编号，记录它的使用次数、清洗次数、维护记录，专人管理，这样可以精准掌握每个舟的状态，提前预判失效。

四、常见故障与处理

1. 表面积碳：轻微的积碳，可以用细砂纸轻轻打磨，然后用压缩空气吹净；严重的积碳，可以用细粒度的白刚玉喷砂处理，控制压力和时间，避免损伤舟的表面。
2. 微裂纹：如果发现微小的裂纹，要停止使用，检查裂纹的深度，如果只是表面的，可以进行修复，如果是贯穿性的，就要及时更换，避免使用中断裂，导致整炉的硅片报废。
3. 舟片变形：如果舟片出现轻微的变形，可以在高温炉中，加负载进行校正，如果变形严重，就只能报废了。
4. 陶瓷件损坏：陶瓷定位件如果出现开裂、松脱，要及时更换，不要继续使用，否则会导致整个舟的结构松动，硅片掉落。