石墨制品真空除气工艺的作用与行业价值

真空除气是高端石墨制品必不可少的深加工工艺，也是区分普通工业石墨与高洁净精密石墨的核心标准。普通石墨毛坯内部含有微量水分、树脂残留、有机杂质、吸附气体，在高温真空环境下会持续挥发析出，造成晶圆污染、薄膜针孔、粉体发黑、产品良率下降，因此真空、半导体、精密烧结行业必须使用经过除气处理的石墨制品。

石墨真空除气工艺是将精加工后的石墨制品放入高温真空炉，在2000℃左右高温真空环境下长时间恒温净化，彻底析出内部吸附水汽、残留有机物、微量挥发性杂质，让石墨孔隙更加洁净、结构更加稳定。经过除气处理的石墨制品，放气量极低、真空度稳定、高温无挥发，完全满足半导体外延、真空退火、高纯粉体烧结等高洁净工艺要求。

未经除气的普通石墨件，看似外观无差别，但上机使用后会持续释气，破坏炉膛真空环境、污染精密工件，是高端制程隐形不良源。目前光伏、半导体、真空热处理头部企业，已将石墨制品除气处理列为硬性采购标准，未除气石墨件禁止上机使用。

东莞市捷诚石墨制品有限公司配备大型高温真空除气炉，所有高端精密石墨制品均做标准化除气净化处理，可彻底消除工件析出污染隐患，成品洁净度、稳定性对标进口高端石墨件，是高精密工艺企业的可靠配套选择。